半導體專用溫控設備chiller適用于工藝制程中準確控制反應腔室溫度,是一種用于半導體制造過程中對設備或工藝進行冷卻的裝置,冠亞恒溫可為其提供了定制化的半導體Chiller解決方案。該方案采用了制冷技術和智能控制系統(tǒng),能夠根據(jù)實際生產(chǎn)需求自動調(diào)節(jié)制冷量,確保生產(chǎn)環(huán)境始終保持在適合溫度范圍內(nèi)。
目前冠亞恒溫半導體專用溫控設備chiller按照不同產(chǎn)品類型,包括單通道和雙通道,主要有FLTZ變頻單通道系列(-100℃~+90℃)、FLTZ變頻多通道系列(-45℃~+90℃)、無壓縮機系列ETCU換熱控溫單元(+5℃-+90℃)
半導體行業(yè)投入大,制造工序繁多。冠亞恒溫半導體專用溫控設備chiller幫助客戶在每個環(huán)節(jié)進行嚴格的質(zhì)量把控,提供高穩(wěn)定性的溫度控制,保障產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。
冠亞恒溫擁有超過14年的溫度控制經(jīng)驗和與各行業(yè)配套的經(jīng)驗,為客戶提供標準化和定制化的溫度控制產(chǎn)品,結(jié)合專業(yè)技術知識,確保滿足半導體工藝中的苛刻溫度要求。