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Chiller低溫復(fù)疊制冷系列

Chiller低溫復(fù)疊制冷系列

氣體控溫系統(tǒng) 2695

半導(dǎo)體溫控裝置

主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制40°C以內(nèi)，加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱

循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)，循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動(dòng)泵

氨檢測(cè)，安規(guī)檢測(cè)，確保系統(tǒng)安全可靠性

經(jīng)過(guò)24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)

產(chǎn)品介紹詳細(xì)信息

 

型號(hào)FLT-803WFLT-805WFLT-806WFLT-808WFLT-810W
溫度范圍-80℃～+80℃
控溫精度±0.1℃
流量控制7～25L/min12～45L/min
流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，根據(jù)流量傳感器反饋信號(hào)自動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，循環(huán)泵最大壓力6bar
制冷量at-70℃0.6KW1KW1.5KW2KW3KW
加熱功率2KW2KW2KW3.5KW3.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L
導(dǎo)熱介質(zhì)氟化液
進(jìn)出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4
冷卻水接口ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃1.8m3/h2.5m3/h3m3/h5m3/h6m3/h
電源380V 50HZ
斷路器25A25A32A40A50A

 

型號(hào)FLT-1002WFLT-1004W
溫度范圍-100℃～+80℃-100℃～+80℃
控溫精度±0.1℃±0.1℃
流量控制7～25L/min12～45L/min
流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，根據(jù)流量傳感器反饋信號(hào)自動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，循環(huán)泵最大壓力6bar
制冷量at-90℃1.5KW3KW
加熱功率3.5KW5.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積5L8L
膨脹罐容積10L15L
導(dǎo)熱介質(zhì)氟化液
導(dǎo)熱介質(zhì)接口ZG3/4ZG3/4
冷卻水接口ZG3/4ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃50L/min 2bar~7bar100L/min 2bar~7bar
電源380V 50HZ380V 50HZ
斷路器32A63A
尺寸700*800*1850800*1200*1850

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